2~6 tommer 4° off-angle P-type 4H-SiC substrat

Kort beskrivelse:

‌4° off-angle P-type 4H-SiC substrat‌ er et specifikt halvledermateriale, hvor "4° off-angle" refererer til, at waferens krystalorienteringsvinkel er 4 grader off-angle, og "P-type" henviser til halvlederens ledningsevnetype. Dette materiale har vigtige anvendelser i halvlederindustrien, især inden for kraftelektronik og højfrekvent elektronik.


Produktdetaljer

Produkt Tags

Semiceras 2~6 tommer 4° off-angle P-type 4H-SiC-substrater er konstrueret til at imødekomme de voksende behov hos producenter af højtydende strøm- og RF-enheder. Den 4° off-vinkel orientering sikrer optimeret epitaksial vækst, hvilket gør dette substrat til et ideelt grundlag for en række halvlederenheder, herunder MOSFET'er, IGBT'er og dioder.

Dette 2~6 tommer 4° off-angle P-type 4H-SiC substrat har fremragende materialeegenskaber, herunder høj termisk ledningsevne, fremragende elektrisk ydeevne og enestående mekanisk stabilitet. Orienteringen uden vinkel hjælper med at reducere mikrorørstætheden og fremmer glattere epitaksiale lag, hvilket er afgørende for at forbedre ydeevnen og pålideligheden af ​​den endelige halvlederenhed.

Semiceras 2~6 tommer 4° off-angle P-type 4H-SiC substrater er tilgængelige i en række forskellige diametre, der spænder fra 2 tommer til 6 tommer, for at opfylde forskellige fremstillingskrav. Vores substrater er præcist konstrueret til at give ensartede dopingniveauer og overfladeegenskaber af høj kvalitet, hvilket sikrer, at hver wafer opfylder de strenge specifikationer, der kræves til avancerede elektroniske applikationer.

Semiceras forpligtelse til innovation og kvalitet sikrer, at vores 2~6 tommer 4° off-angle P-type 4H-SiC-substrater leverer ensartet ydeevne i en lang række applikationer fra kraftelektronik til højfrekvente enheder. Dette produkt giver en pålidelig løsning til den næste generation af energieffektive, højtydende halvledere, der understøtter teknologiske fremskridt inden for industrier som bilindustrien, telekommunikation og vedvarende energi.

Størrelsesrelaterede standarder

Størrelse

2-tommer

4-tommer

Diameter 50,8 mm±0,38 mm 100,0 mm+0/-0,5 mm
Overfladeorientering 4°mod<11-20>±0,5° 4°mod<11-20>±0,5°
Primær flad længde 16,0 mm±1,5 mm 32,5 mm±2 mm
Sekundær flad længde 8,0 mm±1,5 mm 18,0 mm ± 2 mm
Primær flad orientering Parallelt med <11-20>±5,0° Parallelt <11-20>±5,0c
Sekundær flad orientering 90°CW fra primær ± 5,0°, silicium med forsiden opad 90°CW fra primær ± 5,0°, silicium med forsiden opad
Overfladefinish C-Face: Optisk polsk, Si-Face: CMP C-Face: OpticalPolish, Si-Face: CMP
Wafer Edge Affasning Affasning
Overfladeruhed Si-Face Ra<0,2 nm Si-Face Ra<0,2nm
Tykkelse 350,0±25,0um 350,0±25,0um
Polytype 4H 4H
Doping p-type p-type

Størrelsesrelaterede standarder

Størrelse

6-tommer
Diameter 150,0 mm+0/-0,2 mm
Overfladeorientering 4°mod<11-20>±0,5°
Primær flad længde 47,5 mm ± 1,5 mm
Sekundær flad længde Ingen
Primær flad orientering Parallelt med <11-20>±5,0°
Sekundær flad orientering 90°CW fra primær ± 5,0°, silicium med forsiden opad
Overfladefinish C-Face: Optisk polsk, Si-Face: CMP
Wafer Edge Affasning
Overfladeruhed Si-Face Ra<0,2 nm
Tykkelse 350,0±25,0μm
Polytype 4H
Doping p-type

Raman

2-6 tommer 4° off-vinkel P-type 4H-SiC substrat-3

Gyngekurve

2-6 tommer 4° off-vinkel P-type 4H-SiC substrat-4

Dislokationstæthed (KOH-ætsning)

2-6 tommer 4° off-vinkel P-type 4H-SiC substrat-5

KOH ætsningsbilleder

2-6 tommer 4° off-vinkel P-type 4H-SiC substrat-6
SiC wafers

  • Tidligere:
  • Næste: