Semiceraintroducerer850V High Power GaN-on-Si Epi Wafer, et gennembrud inden for halvlederinnovation. Denne avancerede epi wafer kombinerer den høje effektivitet af galliumnitrid (GaN) med omkostningseffektiviteten af silicium (Si), hvilket skaber en kraftfuld løsning til højspændingsapplikationer.
Nøglefunktioner:
•Højspændingshåndtering: Konstrueret til at understøtte op til 850V, denne GaN-on-Si Epi Wafer er ideel til krævende kraftelektronik, hvilket muliggør højere effektivitet og ydeevne.
•Forbedret effekttæthed: Med overlegen elektronmobilitet og termisk ledningsevne muliggør GaN-teknologi kompakte designs og øget effekttæthed.
•Omkostningseffektiv løsning: Ved at udnytte silicium som underlag tilbyder denne epi-wafer et omkostningseffektivt alternativ til traditionelle GaN-wafere uden at gå på kompromis med kvalitet eller ydeevne.
•Bredt anvendelsesområde: Perfekt til brug i strømomformere, RF-forstærkere og andre højeffekt elektroniske enheder, hvilket sikrer pålidelighed og holdbarhed.
Udforsk fremtiden for højspændingsteknologi med Semicera's850V High Power GaN-on-Si Epi Wafer. Dette produkt er designet til banebrydende applikationer og sikrer, at dine elektroniske enheder fungerer med maksimal effektivitet og pålidelighed. Vælg Semicera til dine næste generations halvlederbehov.
| genstande | Produktion | Forskning | Dummy |
| Krystal parametre | |||
| Polytype | 4H | ||
| Overfladeorienteringsfejl | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriske parametre | |||
| Dopant | n-type nitrogen | ||
| Resistivitet | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mekaniske parametre | |||
| Diameter | 150,0±0,2 mm | ||
| Tykkelse | 350±25 μm | ||
| Primær flad orientering | [1-100]±5° | ||
| Primær flad længde | 47,5±1,5 mm | ||
| Sekundær lejlighed | Ingen | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Sløjfe | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Forside (Si-face) ruhed (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Mikrorørstæthed | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 e/cm2 |
| Metal urenheder | ≤5E10 atomer/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Front kvalitet | |||
| Front | Si | ||
| Overflade finish | Si-face CMP | ||
| Partikler | ≤60ea/wafer (størrelse≥0,3μm) | NA | |
| Ridser | ≤5ea/mm. Kumulativ længde ≤Diameter | Kumulativ længde≤2*Diameter | NA |
| Appelsinskal/gruber/pletter/striber/ revner/forurening | Ingen | NA | |
| Kantspåner/indrykninger/brud/sekskantplader | Ingen | ||
| Polytype områder | Ingen | Akkumuleret areal≤20 % | Akkumuleret areal≤30 % |
| Lasermarkering foran | Ingen | ||
| Rygkvalitet | |||
| Afslutning bagpå | C-face CMP | ||
| Ridser | ≤5ea/mm, Kumulativ længde≤2*Diameter | NA | |
| Rygdefekter (kantafslag/indrykninger) | Ingen | ||
| Ryg ruhed | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Lasermarkering bagpå | 1 mm (fra øverste kant) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| Emballage | |||
| Emballage | Epi-klar med vakuumemballage Multi-wafer kassette emballage | ||
| *Bemærkninger: "NA" betyder ingen anmodning. Elementer, der ikke er nævnt, kan referere til SEMI-STD. | |||
