siliciumcarbid Keramisk effektor til overførsel af wafers i forskellige halvlederprocesser

Kort beskrivelse:

Den mekaniske arm af siliciumcarbid er dannet ved isostatisk presseproces og sintret ved høj temperatur.I henhold til kravene i brugerens designtegninger kan konturstørrelsen, tykkelsesstørrelsen og formen forfines for at opfylde brugernes specifikke krav.


Produktdetaljer

Produkt Tags

12

Karakteristika og fordele

1. Præcise dimensioner og termisk stabilitet

2.Høj specifik stivhed og fremragende termisk ensartethed, langvarig brug er ikke let at bøje deformation;

3. Den har en glat overflade og god slidstyrke, og håndterer dermed chippen sikkert uden partikelforurening.

4. Siliciumcarbid resistivitet i 106-108Ω, ikke-magnetisk, i overensstemmelse med anti-ESD specifikationskrav;Det kan forhindre ophobning af statisk elektricitet på overfladen af ​​chippen

5. God termisk ledningsevne, lav udvidelseskoefficient.

Robotarm effektor
SiC End Effector
Sammenligning af SIC keramiske materialer
ADFvZCVXCD

  • Tidligere:
  • Næste: