SEMICERA isostatisk PECVD-grafitbåd er et grafitprodukt med høj renhed og høj densitet designet til wafer-understøttelse i PECVD-processen (plasma-forstærket kemisk dampaflejring). SEMICERA anvender avanceret isostatisk presseteknologi til at sikre, at grafitbåden har fremragende højtemperaturbestandighed, korrosionsbestandighed, dimensionsstabilitet og god termisk ledningsevne, hvilket er et uundværligt forbrugsstof i halvlederfremstillingsprocessen.
SEMICERA isostatisk PECVD grafitbåd har følgende fordele:
▪ Høj renhed: Grafitmaterialet er af høj renhed og lavt urenhedsindhold for at undgå forurening af waferoverfladen.
▪ Høj densitet: Høj densitet, høj mekanisk styrke, kan modstå høje temperaturer og høje vakuummiljøer.
▪ God dimensionsstabilitet: Lille dimensionsændring ved høj temperatur for at sikre processtabilitet.
▪ Fremragende varmeledningsevne: Overfør effektivt varme for at forhindre overophedning af wafer.
▪ Stærk korrosionsbestandighed: I stand til at modstå erosion fra forskellige ætsende gasser og plasma.
| Ydelsesparameter | semicera | SGL R6510 | Ydelsesparameter |
| Bulkdensitet (g/cm3) | 1,91 | 1,83 | 1,85 |
| Bøjningsstyrke (MPa) | 63 | 60 | 49 |
| Trykstyrke (MPa) | 135 | 130 | 103 |
| Shore Hardness (HS) | 70 | 64 | 60 |
| Termisk udvidelseskoefficient（10-6/K） | 85 | 105 | 130 |
| Termisk udvidelseskoefficient（10-6/K） | 5,85 | 4.2 | 5,0 |
| Resistivitet (μΩm) | 11-13 | 13 | 10 |
Fordele ved at vælge os:
▪ Materialevalg: Der bruges grafitmaterialer med høj renhed for at sikre produktkvalitet.
▪ Forarbejdningsteknologi: Isostatisk presning bruges til at sikre produktdensitet og ensartethed.
▪ Størrelsestilpasning: Grafitbåde i forskellige størrelser og former kan tilpasses efter kundernes behov.
▪ Overfladebehandling: Der tilbydes en række forskellige overfladebehandlingsmetoder, såsom belægning af siliciumcarbid, bornitrid osv., for at opfylde forskellige proceskrav.
