Tynde film, der bruges i halvlederfremstilling, har alle modstand, og filmmodstand har en direkte indflydelse på enhedens ydeevne. Vi måler normalt ikke filmens absolutte modstand, men bruger plademodstanden til at karakterisere den.
Hvad er plademodstand og volumenmodstand?
Volumenresistivitet, også kendt som volumenresistivitet, er en iboende egenskab ved et materiale, der kendetegner, hvor meget materialet hæmmer strømmen af elektrisk strøm. Det almindeligt anvendte symbol ρ repræsenterer, enheden er Ω.
Plademodstand, også kendt som arkmodstand, det engelske navn er arkmodstand, som refererer til modstandsværdien af filmen pr. arealenhed. Ofte brugte symboler Rs eller ρs til at udtrykke, enheden er Ω/sq eller Ω/□
Forholdet mellem de to er: plademodstand = volumenmodstand/filmtykkelse, det vil sige Rs =ρ/t
Hvorfor måle plademodstand?
Måling af den absolutte modstand af en film kræver præcis viden om filmens geometriske dimensioner (længde, bredde, tykkelse), som har mange variabler og er meget kompleks for meget tynde eller uregelmæssigt formede film. Plademodstanden er kun relateret til filmens tykkelse og kan hurtigt og direkte testes uden komplicerede størrelsesberegninger.
Hvilke film skal måle arkmodstand?
Generelt skal ledende film og halvlederfilm måles for kvadratisk modstand, mens isolerende film ikke skal måles.
Ved halvlederdoping måles også siliciums plademodstand.
Hvordan måler man kvadratmodstand?
Fire-probe-metoden bruges generelt i industrien. Fire-probe-metoden kan måle kvadratisk modstand i området fra 1E-3 til 1E+9Ω/sq. Fire-probe-metoden kan undgå målefejl på grund af kontaktmodstand mellem sonden og prøven.
Målemetoder:
1) Sæt fire lineært arrangerede prober på overfladen af prøven.
2) Påfør en konstant strøm mellem de to ydre sonder.
3) Bestem modstanden ved at måle potentialforskellen mellem de to interne prober
RS: plademodstand
ΔV: Ændring i spænding målt mellem interne prober
I: Strøm påført mellem ydre sonder
Indlægstid: 29. marts 2024