Halvlederindustrien er vidne til en hidtil uset vækst, især inden for områdetsiliciumcarbid (SiC)kraftelektronik. Med mange storeoblatFabrikker, der er under konstruktion eller udvidelse for at imødekomme den stigende efterspørgsel efter SiC-enheder i elektriske køretøjer, giver dette boom bemærkelsesværdige muligheder for vækst i overskuddet. Men det bringer også unikke udfordringer frem, som kræver innovative løsninger.
Kernen i den stigende globale SiC-chipproduktion ligger i fremstillingen af højkvalitets SiC-krystaller, wafers og epitaksiale lag. Her,grafit af halvlederkvalitetmaterialer spiller en central rolle, hvilket letter SiC krystalvækst og aflejringen af SiC epitaksiale lag. Grafits termiske isolering og inerthed gør det til et foretrukket materiale, der i vid udstrækning anvendes i digler, piedestaler, planetskiver og satellitter inden for krystalvækst- og epitaksisystemer. Ikke desto mindre udgør de barske procesforhold en betydelig udfordring, hvilket fører til hurtig nedbrydning af grafitkomponenter og efterfølgende hindrer produktionen af højkvalitets SiC-krystaller og epitaksiale lag.
Fremstillingen af siliciumcarbidkrystaller medfører ekstremt barske procesforhold, herunder temperaturer over 2000°C og stærkt ætsende gasstoffer. Dette resulterer ofte i fuldstændig korrosion af grafitdigler efter adskillige procescyklusser, hvorved produktionsomkostningerne eskalerer. Derudover ændrer de barske forhold overfladeegenskaberne af grafitkomponenter, hvilket kompromitterer produktionsprocessens repeterbarhed og stabilitet.
For at bekæmpe disse udfordringer effektivt, er beskyttende belægningsteknologi dukket op som en game-changer. Beskyttende belægninger baseret påtantalcarbid (TaC)er blevet indført for at løse problemerne med nedbrydning af grafitkomponenter og mangel på grafitforsyning. TaC-materialer udviser en smeltetemperatur på over 3800°C og enestående kemisk resistens. Udnyttelse af kemisk dampaflejring (CVD) teknologi,TaC belægningermed en tykkelse på op til 35 millimeter kan problemfrit aflejres på grafitkomponenter. Dette beskyttende lag forbedrer ikke kun materialestabiliteten, men forlænger også levetiden for grafitkomponenter betydeligt, hvilket reducerer produktionsomkostningerne og forbedrer driftseffektiviteten.
Semicera, en førende leverandør afTaC belægninger, har været medvirkende til at revolutionere halvlederindustrien. Med sin banebrydende teknologi og urokkelige forpligtelse til kvalitet, har Semicera gjort det muligt for halvlederproducenter at overvinde kritiske udfordringer og opnå nye højder af succes. Ved at tilbyde TaC-belægninger med uovertruffen ydeevne og pålidelighed har Semicera cementeret sin position som en betroet partner for halvledervirksomheder verden over.
Som konklusion, beskyttende belægningsteknologi, drevet af innovationer somTaC belægningerfra Semicera, omformer halvlederlandskabet og baner vejen for en mere effektiv og bæredygtig fremtid.
Indlægstid: 16. maj 2024