Tørætsningsprocessen består normalt af fire grundlæggende tilstande: før ætsning, delvis ætsning, blot ætsning og overætsning. De vigtigste egenskaber er ætsningshastighed, selektivitet, kritisk dimension, ensartethed og slutpunktsdetektion. Figur 1 Før ætsning Figur 2 Delvis ætsning Figur...
Læs mere