Hvad er vanskelighederne ved præcisionsbehandling af aluminiumoxid keramisk manipulator

Alumina keramikmanipulatorer spiller en vigtig rolle i halvlederindustrien, hovedsagelig brugt til at overføre wafere i høje rene miljøer. Alumina keramisk materiale har fremragende ydeevne og er meget velegnet til fremstilling af robotter, men alumina keramik er ikke kun et keramisk materiale med ekstrem høj hårdhed, det er også et meget vanskeligt at bearbejde keramisk materiale. Semicera Energy Technology Co., Ltd. er en førende leverandør med speciale i wafer og avancerede halvlederforbrugsvarer. Blandt dem er aluminiumoxidkeramik et af de vigtige produkter fra Semicera Energy. Vi har arbejdet på dette område i mange år, og vi har specielt udviklet en ny forarbejdningsteknologi til forarbejdningsvanskelighederne for aluminiumoxidkeramik. Har været i stand til at give kunderne kvalificerede keramiske mekaniske armprodukter. Følgende ingeniører fra Semicera Energy vil introducere, hvad der er vanskelighederne ved præcisionsbearbejdning af aluminiumoxid keramiske manipulatorer.

sdf

Alumina keramisk robotarm

1. På grund af den høje hårdhed af aluminiumoxid keramik er hårdheden af ​​det generelle værktøj langt mindre end aluminiumoxid keramik, på dette tidspunkt vil vi vælge et diamantværktøj med bedre hårdhed, selvom det vil fremskynde sliddet af værktøjet og øge omkostningerne ved værktøjet; Derfor er omkostningerne ved præcisionsbehandling af aluminiumoxidkeramik relativt høje.

2. Alumina keramikhar god termisk stabilitet, men slagfastheden er dårlig, skørheden er stor, og kantkollapsfænomenet er let at opstå i processen med at behandle aluminiumoxidkeramik; I forarbejdningsindustrien skal vi udføre en række forskellige optimeringer, men forarbejdningsteknologien kan ikke forbedre produktkvalifikationsgraden for aluminiumoxidkeramisk manipulator væsentligt.

SDcvzsxc

3. Alumina keramikselv har høje krav til slibebearbejdningsnøjagtighed, så ved overfladebearbejdning fører værktøjsslid til dimensionsnøjagtighed og overfladefinishreduktion, hvis det keramiske emne har høje krav til overfladefinish, har det brug for yderligere poleringsbearbejdning, hvilket også øger omkostningerne ved bearbejdningen.

4. Alumina keramikslibebehandling, let at producere et stort antal hårdt fint keramisk pulver, pulveret er let at invadere spindlen og andet tilbehør til værktøjsmaskinen, hvilket resulterer i maskinværktøjsproduktionsfejl, alvorlig skade på værktøjsmaskinen. For at løse dette problem introducerede Semicera Energy specielt en speciel keramisk graverings- og fræsemaskine, som grundlæggende løste dette problem fundamentalt, og arbejdsemnets behandlingsnøjagtighed er også blevet væsentligt forbedret. Semicera Energy har indlysende fordele inden for præcisionsbearbejdning af aluminiumoxid keramisk manipulator, har ikke kun et professionelt teknisk personaleteam, der er også særlige komplette sæt forarbejdningsudstyr.

 

Indlægstid: Sep-04-2023