DeMOCVDMetoden er en af de mest stabile processer, der i øjeblikket anvendes i industrien til at dyrke højkvalitets enkeltkrystallinske tynde film, såsom enkeltfasede InGaN epilag, III-N materialer og halvlederfilm med multikvantebrøndstrukturer, og er af stor betydning i fremstilling af halvleder- og optoelektroniske enheder.
DeSiC belægning MOCVD susceptorer en specialiseret waferholder belagt med siliciumcarbid (SiC) tilepitaksial vækst i metal organisk kemisk dampaflejring (MOCVD) proces.
SiC-belægningen har fremragende kemisk resistens og termisk stabilitet, hvilket gør den til et ideelt valg til MOCVD-susceptorer, der anvendes i krævende epitaksiale vækstprocesser.
En nøglekomponent i MOCVD-processen er susceptoren, som er et nøgleelement for at sikre ensartetheden og kvaliteten af de producerede tynde film.
Hvad er en susceptor? Susceptoren er en specialiseret komponent, der bruges i MOCVD-processen til at understøtte og opvarme substratet, hvorpå den tynde film er aflejret. Det har flere funktioner, herunder at absorbere elektromagnetisk energi, omdanne den til varme og jævnt fordele varmen på underlaget. Denne ensartede opvarmning er afgørende for væksten af ensartede tynde film med præcis tykkelse og sammensætning.
Typer af susceptorer:
1. Grafitsusceptorer: Grafitsusceptorer er ofte belagt med et beskyttende lag som f.eks.siliciumcarbid (SiC), som er kendt for sin høje varmeledningsevne og stabilitet. DeSiC belægninggiver en hård, beskyttende overflade, der modstår korrosion og nedbrydning ved høje temperaturer.
2. Siliciumcarbid (SiC) susceptorer: Disse susceptorer er udelukkende lavet af SiC og har fremragende termisk stabilitet og slidstyrke. SiC-susceptorer er særligt velegnede til højtemperaturprocesser og korrosive miljøer.
Sådan virker susceptorer i MOCVD:
I MOCVD-processen indføres prækursorer i reaktionskammeret, hvor de nedbrydes og reagerer for at danne en tynd film på substratet. Susceptoren spiller en afgørende rolle ved at sikre, at substratet opvarmes jævnt, hvilket er afgørende for at opnå ensartede filmegenskaber på tværs af hele substratoverfladen. Materialet og designet af susceptoren er nøje udvalgt for at opfylde de specifikke krav til deponeringsprocessen, såsom temperaturområde og kemisk kompatibilitet.
Fordele ved at bruge susceptorer af høj kvalitet:
• Forbedret filmkvalitet: Ved at give ensartet varmefordeling hjælper susceptoren med at opnå film med ensartet tykkelse og sammensætning, hvilket er afgørende for ydeevnen af halvlederenheder.
• Forbedret proceseffektivitet: Susceptorer af høj kvalitet øger den samlede effektivitet af MOCVD-processen ved at reducere sandsynligheden for defekter og øge udbyttet af brugbare film.
• Levetid og pålidelighed: Susceptorer lavet af holdbare materialer som SiC sikrer langsigtet pålidelighed og reducerer vedligeholdelsesomkostningerne.
Susceptoren er en integreret komponent i MOCVD-processen og påvirker direkte kvaliteten og effektiviteten af tyndfilmaflejring. For mere information om tilgængelige størrelser, MOCVD-susceptorer og priser, tøv ikke med at kontakte os. Vores ingeniører vil med glæde rådgive dig om passende materialer og besvare alle dine spørgsmål.
Telefon: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Indlægstid: Aug-12-2024