-
Semiconductor Manufacturing Process – Etch Technology
Der kræves hundredvis af processer for at omdanne en wafer til en halvleder. En af de vigtigste processer er ætsning - det vil sige udskæring af fine kredsløbsmønstre på waferen. Succesen med ætsningsprocessen afhænger af håndtering af forskellige variabler inden for et bestemt distributionsområde, og hver ætsning...Læs mere -
Ideelt materiale til fokusringe i plasmaætsningsudstyr: Siliciumcarbid (SiC)
I plasmaætsningsudstyr spiller keramiske komponenter en afgørende rolle, herunder fokusringen. Fokusringen, placeret rundt om waferen og i direkte kontakt med den, er essentiel for at fokusere plasmaet på waferen ved at påføre spænding til ringen. Dette forbedrer un...Læs mere -
Effekt af siliciumcarbid enkeltkrystalbehandling på waferoverfladekvalitet
Halvledereffektenheder indtager en kerneposition i kraftelektroniske systemer, især i forbindelse med den hurtige udvikling af teknologier såsom kunstig intelligens, 5G-kommunikation og nye energikøretøjer, ydelseskravene til dem har været ...Læs mere -
Nøglekernemateriale til SiC-vækst: Tantalkarbidbelægning
På nuværende tidspunkt er tredje generation af halvledere domineret af siliciumcarbid. I omkostningsstrukturen for dets enheder tegner substratet sig for 47%, og epitaksien tegner sig for 23%. De to tegner sig tilsammen for omkring 70%, hvilket er den vigtigste del af fremstillingen af siliciumcarbiden...Læs mere -
Hvordan forbedrer tantalcarbid-belagte produkter materialernes korrosionsbestandighed?
Tantalkarbidbelægning er en almindeligt anvendt overfladebehandlingsteknologi, der væsentligt kan forbedre materialernes korrosionsbestandighed. Tantalcarbidbelægning kan fastgøres til overfladen af substratet gennem forskellige forberedelsesmetoder, såsom kemisk dampaflejring, fysik...Læs mere -
I går udsendte Science and Technology Innovation Board en meddelelse om, at Huazhuo Precision Technology opsagde sin børsnotering!
Har netop annonceret leveringen af det første 8-tommer SIC-laserudglødningsudstyr i Kina, som også er Tsinghuas teknologi; Hvorfor trak de selv materialerne tilbage? Bare et par ord: For det første er produkterne for forskellige! Ved første øjekast ved jeg ikke, hvad de laver. På nuværende tidspunkt er H...Læs mere -
CVD siliciumcarbid belægning-2
CVD-siliciumcarbidbelægning 1. Hvorfor er der en siliciumcarbidbelægning Det epitaksiale lag er en specifik enkelt krystal tynd film, der dyrkes på basis af waferen gennem den epitaksiale proces. Substratwaferen og den epitaksiale tynde film kaldes tilsammen epitaksiale wafers. Blandt dem er...Læs mere -
Forberedelse af SIC-belægning
På nuværende tidspunkt omfatter fremstillingsmetoderne til SiC-belægning hovedsageligt gel-sol-metoden, indlejringsmetoden, børstebelægningsmetoden, plasmasprøjtemetoden, kemisk dampreaktionsmetode (CVR) og kemisk dampaflejringsmetode (CVD). IndlejringsmetodeDenne metode er en slags højtemperatur fastfase ...Læs mere -
CVD Siliciumcarbid Coating-1
Hvad er CVD SiC Chemical vapor deposition (CVD) er en vakuumaflejringsproces, der bruges til at fremstille faste materialer med høj renhed. Denne proces bruges ofte inden for halvlederfremstilling til at danne tynde film på overfladen af wafere. I processen med at forberede SiC ved CVD, er substratet eksp...Læs mere -
Analyse af dislokationsstruktur i SiC-krystal ved strålesporingssimulering assisteret af røntgentopologisk billeddannelse
Forskningsbaggrund Anvendelsen af siliciumcarbid (SiC): Som et halvledermateriale med bred båndgab har siliciumcarbid tiltrukket sig stor opmærksomhed på grund af dets fremragende elektriske egenskaber (såsom større båndgab, højere elektronmætningshastighed og termisk ledningsevne). Disse rekvisitter...Læs mere -
Frøkrystalfremstillingsproces i SiC enkeltkrystalvækst 3
Vækstbekræftelse Siliciumcarbid (SiC) podekrystaller blev fremstillet efter den skitserede proces og valideret gennem SiC krystalvækst. Den anvendte vækstplatform var en selvudviklet SiC induktionsvækstovn med en væksttemperatur på 2200 ℃, et væksttryk på 200 Pa og en vækst...Læs mere -
Frøkrystalforberedelsesproces i SiC-enkeltkrystalvækst (del 2)
2. Eksperimentel proces 2.1 Hærdning af klæbende filmDet blev observeret, at direkte dannelse af en carbonfilm eller binding med grafitpapir på SiC-wafere belagt med klæbemiddel førte til flere problemer: 1. Under vakuumforhold udviklede den klæbende film på SiC-wafers et skalalignende udseende pga. at underskrive...Læs mere