Introduktion af wafer-bærer
PRODUKTKATAGORI
▶Wafer Carrier System til PECVD & TALOX Process
• PECVD & TALOX grafitbåd (M4~M12)
• Lodret SM-båd (M4, M6)
• Implantat- og brusegrafitdel (M4~M6)
• C/C bakke & keramisk belægning
• Metal RIE-bakke & keramisk belægning
• Vakuumforsegling: O-ring & SQ-ring
▶Overførselsproces for teksturering og vådætsning
• LSC H-bærer eller kassette (M4~M12)
• LSC V-Carrier eller kassette (M4~M12)
• ASC-bærer eller kassette (M4, M6)
• W/F-bærer og opbevaringsboks (M4~M12)
• Transporthjul (rulle) serien
▶Solcellebærer og metalbærer
• TRC-bærer eller kassette (M4~M12)
• Magasin (med BÆLTE)
GRAFITBÅD (H-type)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAFITBÅD (H-type)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFITBÅD (H-type)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
GRAFITBÅD (H-type)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
GRAFITBÅD (H-type)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF BÆRER OG OPBEVARINGSÆSKE (~M12)
C/C BAKKE eller BÆRE (M4~M10)
C/C BAKKE eller BÆRE (M4~M10)
VERTIKAL BÅD (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER(~M12)
TRC CARRIER(~M12)
GRAFITBÅD(M12)
Wafer Carrier System til PECVD Process
▶ GRAFITBÅD (CT-designet) M10/M12 Process
• SÆRLIG DESIGN KONCEPT
▶ GRAFITBÅD (CT-designet) M4/M6-proces
▶ BÅD Tilbehørsdele
▶ VERTICAL BOAT-161,7 mm WAFER
▶ VERTICAL BOAT-166mm WAFER
▶ VERTICAL BOAT-161,7 mm, 166 mm WAFER
Solcellebærer & Metal TRC Carrier
TYPE: Automatisering
WAFER STØRRELSE: ① 156×156MM ② 156,75×156,75MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180 mm ⑥ 210×210 mm
BRUG: Bære (kassette)
KAPACITET: 100 ark
PITCH: 4,76 mm/5,953 mm/6,35 mm
DIMENSION: Ca. 559×220×220MM
Cirka 712×260×260MM
FORDEL: Atmosfære
MATERIALE: FLAMME, SIDEBAR-Aluminium (anodisering)
SIDE PLATE-POM (antistatisk)
Dæksel af bundstang-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METALBÆRER (BRUGERLINJE)
TRC-METALBÆRER (BRUGERLINJE)
TRC-METALBÆRER (BRUGERLINJE)
BRUSEPLADE & IMPLANTAT, BÆRER
