RTP CVD SiC Ring

Kort beskrivelse:

RTP CVD SiC-ringe er hovedsageligt sammensat af siliciumcarbid (SiC), hvis kemiske sammensætning og krystalstruktur giver den fremragende ydeevne. Siliciumcarbid er et keramisk materiale med højt smeltepunkt, høj hårdhed og fremragende korrosionsbestandighed. Det udviser god termisk ledningsevne og kemisk stabilitet ved høje temperaturer og har fremragende mekanisk styrke og slidstyrke.

Send e-mail til os

Produktdetaljer

Produkt Tags

Hvorfor er siliciumcarbid ætsningsring?

RTPCVD SiC ringeer meget udbredt i industrielle og videnskabelige områder i høje temperaturer og korrosive miljøer. Det spiller en vigtig rolle i halvlederfremstilling, optoelektronik, præcisionsmaskineri og kemisk industri. Specifikke applikationer omfatter:

1. Fremstilling af halvledere:RTP CVD SiC ringekan bruges til opvarmning og afkøling af halvlederudstyr, hvilket giver stabil temperaturkontrol og sikrer nøjagtigheden og konsistensen af processen.

2. Optoelektronik: På grund af sin fremragende termiske ledningsevne og høje temperaturbestandighed, RTPCVD SiC ringekan bruges som støtte- og varmeafledningsmaterialer til lasere, fiberoptisk kommunikationsudstyr og optiske komponenter.

3. Præcisionsmaskineri: RTP CVD SiC-ringe kan bruges til præcisionsinstrumenter og -udstyr i højtemperatur- og korrosive miljøer, såsom højtemperaturovne, vakuumanordninger og kemiske reaktorer.

4. Kemisk industri: På grund af dens korrosionsbestandighed og kemiske stabilitet kan RTP CVD SiC-ringe bruges i beholdere, rør og reaktorer i kemiske reaktioner og katalytiske processer.

Epi System

RTP system

CVD system

Produktydelse:

1. Mød processen under 28nm

2. Super korrosionsbestandighed

3. Super ren ydeevne

4. Super hårdhed

5. Høj tæthed

6. Høj temperatur modstand

7. Slidstyrke

Produktanvendelse:

Siliciumcarbidmaterialer har karakteristika af høj hårdhed, slidstyrke, korrosionsbestandighed og høj temperaturstabilitet. Produkter med fremragende omfattende ydeevne er meget udbredt i tørætsning og TF/diffusionsprocesser.