SemiceraintroducererHalvlederkassette, et væsentligt værktøj til sikker og effektiv håndtering af wafere gennem hele halvlederfremstillingsprocessen. Konstrueret med høj præcision sikrer denne kassette, at dine wafere opbevares og transporteres sikkert, og bevarer deres integritet på alle trin.
Overlegen beskyttelse og holdbarhedDeHalvlederkassettefra Semicera er bygget til at give maksimal beskyttelse til dine wafere. Konstrueret af robuste, forureningsresistente materialer, beskytter det dine wafere mod potentiel skade og forurening, hvilket gør det til et ideelt valg til renrumsmiljøer. Kassettens design minimerer partikeldannelse og sikrer, at wafere forbliver uberørte og sikre under håndtering og transport.
Forbedret design for optimal ydeevneSemicera'sHalvlederkassettehar et omhyggeligt konstrueret design, der giver præcis wafer-justering, hvilket reducerer risikoen for fejljustering og mekanisk skade. Kassettens åbninger har perfekt afstand til at holde hver wafer sikkert, hvilket forhindrer enhver bevægelse, der kan resultere i ridser eller andre ufuldkommenheder.
Alsidighed og kompatibilitetDeHalvlederkassetteer alsidig og kompatibel med forskellige waferstørrelser, hvilket gør den velegnet til forskellige stadier af halvlederfremstilling. Uanset om du arbejder med standard- eller brugerdefinerede wafer-dimensioner, tilpasser denne kassette sig til dine behov og tilbyder fleksibilitet i dine fremstillingsprocesser.
Strømlinet håndtering og effektivitetDesignet med brugeren i tankerneSemicera Semiconductor Cassetteer let og nem at håndtere, hvilket giver mulighed for hurtig og effektiv lastning og losning. Dette ergonomiske design sparer ikke kun tid, men reducerer også risikoen for menneskelige fejl, hvilket sikrer problemfri drift på dit anlæg.
Opfylder industristandarderSemicera sikrer, atHalvlederkassetteopfylder de højeste industristandarder for kvalitet og pålidelighed. Hver kassette gennemgår strenge tests for at garantere, at den yder ensartet under de krævende forhold ved halvlederfremstilling. Denne dedikation til kvalitet sikrer, at dine wafers altid er beskyttet, og opretholder de høje standarder, der kræves i branchen.
genstande | Produktion | Forskning | Dummy |
Krystal parametre | |||
Polytype | 4H | ||
Overfladeorienteringsfejl | <11-20 >4±0,15° | ||
Elektriske parametre | |||
Dopant | n-type nitrogen | ||
Resistivitet | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
Mekaniske parametre | |||
Diameter | 150,0±0,2 mm | ||
Tykkelse | 350±25 μm | ||
Primær flad orientering | [1-100]±5° | ||
Primær flad længde | 47,5±1,5 mm | ||
Sekundær lejlighed | Ingen | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Sløjfe | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Forside (Si-face) ruhed (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Struktur | |||
Mikrorørstæthed | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 e/cm2 |
Metal urenheder | ≤5E10 atomer/cm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
Front kvalitet | |||
Front | Si | ||
Overflade finish | Si-face CMP | ||
Partikler | ≤60ea/wafer (størrelse≥0,3μm) | NA | |
Ridser | ≤5ea/mm. Kumulativ længde ≤Diameter | Kumulativ længde≤2*Diameter | NA |
Appelsinskal/gruber/pletter/striber/ revner/forurening | Ingen | NA | |
Kantspåner/indrykninger/brud/sekskantplader | Ingen | ||
Polytype områder | Ingen | Akkumuleret areal≤20 % | Akkumuleret areal≤30 % |
Lasermarkering foran | Ingen | ||
Rygkvalitet | |||
Afslutning bagpå | C-face CMP | ||
Ridser | ≤5ea/mm, Kumulativ længde≤2*Diameter | NA | |
Rygdefekter (kantafslag/indrykninger) | Ingen | ||
Ryg ruhed | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
Lasermarkering bagpå | 1 mm (fra øverste kant) | ||
Edge | |||
Edge | Chamfer | ||
Emballage | |||
Emballage | Epi-klar med vakuumemballage Multi-wafer kassette emballage | ||
*Bemærkninger: "NA" betyder ingen anmodning. Elementer, der ikke er nævnt, kan referere til SEMI-STD. |