Halvlederkassette

Kort beskrivelse:

Halvlederkassette– Beskyt og transporter dine wafere med præcision ved hjælp af Semiceras Semiconductor Cassette, designet til at sikre optimal sikkerhed og effektivitet i højteknologiske produktionsmiljøer.


Produktdetaljer

Produkt Tags

SemiceraintroducererHalvlederkassette, et væsentligt værktøj til sikker og effektiv håndtering af wafere gennem hele halvlederfremstillingsprocessen. Konstrueret med høj præcision sikrer denne kassette, at dine wafere opbevares og transporteres sikkert, og bevarer deres integritet på alle trin.

Overlegen beskyttelse og holdbarhedDeHalvlederkassettefra Semicera er bygget til at give maksimal beskyttelse til dine wafere. Konstrueret af robuste, forureningsresistente materialer, beskytter det dine wafere mod potentiel skade og forurening, hvilket gør det til et ideelt valg til renrumsmiljøer. Kassettens design minimerer partikeldannelse og sikrer, at wafere forbliver uberørte og sikre under håndtering og transport.

Forbedret design for optimal ydeevneSemicera'sHalvlederkassettehar et omhyggeligt konstrueret design, der giver præcis wafer-justering, hvilket reducerer risikoen for fejljustering og mekanisk skade. Kassettens åbninger har perfekt afstand til at holde hver wafer sikkert, hvilket forhindrer enhver bevægelse, der kan resultere i ridser eller andre ufuldkommenheder.

Alsidighed og kompatibilitetDeHalvlederkassetteer alsidig og kompatibel med forskellige waferstørrelser, hvilket gør den velegnet til forskellige stadier af halvlederfremstilling. Uanset om du arbejder med standard- eller brugerdefinerede wafer-dimensioner, tilpasser denne kassette sig til dine behov og tilbyder fleksibilitet i dine fremstillingsprocesser.

Strømlinet håndtering og effektivitetDesignet med brugeren i tankerneSemicera Semiconductor Cassetteer let og nem at håndtere, hvilket giver mulighed for hurtig og effektiv lastning og losning. Dette ergonomiske design sparer ikke kun tid, men reducerer også risikoen for menneskelige fejl, hvilket sikrer problemfri drift på dit anlæg.

Opfylder industristandarderSemicera sikrer, atHalvlederkassetteopfylder de højeste industristandarder for kvalitet og pålidelighed. Hver kassette gennemgår strenge tests for at garantere, at den yder ensartet under de krævende forhold ved halvlederfremstilling. Denne dedikation til kvalitet sikrer, at dine wafers altid er beskyttet, og opretholder de høje standarder, der kræves i branchen.

genstande

Produktion

Forskning

Dummy

Krystal parametre

Polytype

4H

Overfladeorienteringsfejl

<11-20 >4±0,15°

Elektriske parametre

Dopant

n-type nitrogen

Resistivitet

0,015-0,025 ohm·cm

Mekaniske parametre

Diameter

150,0±0,2 mm

Tykkelse

350±25 μm

Primær flad orientering

[1-100]±5°

Primær flad længde

47,5±1,5 mm

Sekundær lejlighed

Ingen

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Sløjfe

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Forside (Si-face) ruhed (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Struktur

Mikrorørstæthed

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 e/cm2

Metal urenheder

≤5E10 atomer/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Front kvalitet

Front

Si

Overflade finish

Si-face CMP

Partikler

≤60ea/wafer (størrelse≥0,3μm)

NA

Ridser

≤5ea/mm. Kumulativ længde ≤Diameter

Kumulativ længde≤2*Diameter

NA

Appelsinskal/gruber/pletter/striber/ revner/forurening

Ingen

NA

Kantspåner/indrykninger/brud/sekskantplader

Ingen

Polytype områder

Ingen

Akkumuleret areal≤20 %

Akkumuleret areal≤30 %

Lasermarkering foran

Ingen

Rygkvalitet

Afslutning bagpå

C-face CMP

Ridser

≤5ea/mm, Kumulativ længde≤2*Diameter

NA

Rygdefekter (kantafslag/indrykninger)

Ingen

Ryg ruhed

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Lasermarkering bagpå

1 mm (fra øverste kant)

Edge

Edge

Chamfer

Emballage

Emballage

Epi-klar med vakuumemballage

Multi-wafer kassette emballage

*Bemærkninger: "NA" betyder ingen anmodning. Elementer, der ikke er nævnt, kan referere til SEMI-STD.

tech_1_2_størrelse
SiC wafers

  • Tidligere:
  • Næste: