Beskrivelse
MOCVD substratvarmer, varmeelementer til MOCVD
Grafitvarmer:
Grafitvarmerkomponenterne bruges i højtemperaturovnen med en temperatur på 2200 grader ved vakuummiljø og 3000 grader i det deoxiderede og indsatte gasmiljø.
Hovedtræk ved grafitvarmer
1. ensartethed af varmestruktur.
2. god elektrisk ledningsevne og høj elektrisk belastning.
3. korrosionsbestandighed.
4. uoxiderbarhed.
5. høj kemisk renhed.
6. høj mekanisk styrke.
Fordelen er energieffektiv, høj værdi og lav vedligeholdelse.
Vi kan producere anti-oxidation og lang levetid grafit digel, grafit form og alle dele af grafit varmelegeme.
Kemisk grafit
Fordel: Høj temperaturbestandighed
Anvendelse: MOCVD / Vakuumovn / Hot Zone
Bulkdensitet: 1,68-1,91 g/cm3
Bøjningsstyrke: 30-46Mpa
Resistivitet: 7-12μΩm
De vigtigste parametre for grafitvarmer
| Teknisk specifikation | VET-M3 |
| Bulkdensitet (g/cm3) | ≥1,85 |
| Askeindhold (PPM) | ≤500 |
| Shore hårdhed | ≥45 |
| Specifik modstand (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Bøjestyrke (Mpa) | ≥40 |
| Kompressionsstyrke (Mpa) | ≥70 |
| Maks. Kornstørrelse (μm) | ≤43 |
| Termisk udvidelseskoefficient Mm/°C | ≤4,4*10-6 |
Grafitvarmer til elektrisk ovn har egenskaber som varmebestandighed, oxidationsmodstand, god elektrisk ledningsevne og bedre mekanisk intensitet. Vi kan bearbejde forskellige typer grafitvarmer i henhold til kundernes design.
Virksomhedsprofil
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. er en førende leverandør af avanceret halvlederkeramik og den eneste producent i Kina, der samtidigt kan levere højrent siliciumcarbidkeramik (især omkrystalliseret SiC) og CVD SiC-belægning. Derudover er vores virksomhed også forpligtet til keramiske områder som aluminiumoxid, aluminiumnitrid, zirconia og siliciumnitrid osv.
Vores hovedprodukter, herunder: siliciumcarbid ætseskive, siliciumcarbid bådslæb, silicium carbid wafer båd (fotovoltaisk og halvleder), silicium carbid ovnrør, silicium carbid cantilever pagaj, silicium carbid patroner, silicium carbid SiC belægning samt Ta CVD bjælke belægning. Produkterne, der hovedsageligt anvendes i halvleder- og fotovoltaiske industrier, såsom udstyr til krystalvækst, epitaksi, ætsning, emballering, belægning og diffusionsovne mv.
Vores virksomhed har det komplette produktionsudstyr såsom støbning, sintring, forarbejdning, belægningsudstyr osv., som kan fuldføre alle de nødvendige forbindelser til produktproduktion og har højere kontrollerbarhed af produktkvalitet; Den optimale produktionsplan kan vælges i henhold til produktets behov, hvilket resulterer i lavere omkostninger og giver kunderne mere konkurrencedygtige produkter; Vi kan fleksibelt og effektivt planlægge produktion baseret på ordreleveringskrav og i forbindelse med online ordrestyringssystemer, hvilket giver kunderne hurtigere og mere garanteret leveringstid.
