Si Epitaksi

Kort beskrivelse:

Si Epitaksi– Opnå overlegen enhedsydelse med Semiceras Si Epitaxy, der tilbyder præcisionsdyrkede siliciumlag til avancerede halvlederapplikationer.


Produktdetaljer

Produkt Tags

Semiceraintroducerer sin høje kvalitetSi Epitaksitjenester, designet til at opfylde de krævende standarder i nutidens halvlederindustri. Epitaksiale siliciumlag er afgørende for elektroniske enheders ydeevne og pålidelighed, og vores Si Epitaxy-løsninger sikrer, at dine komponenter opnår optimal funktionalitet.

Præcisionsdyrkede siliciumlag Semiceraforstår, at grundlaget for højtydende enheder ligger i kvaliteten af ​​de anvendte materialer. VoresSi Epitaksiprocessen kontrolleres omhyggeligt for at producere siliciumlag med enestående ensartethed og krystalintegritet. Disse lag er essentielle for applikationer lige fra mikroelektronik til avancerede strømenheder, hvor konsistens og pålidelighed er altafgørende.

Optimeret til enhedens ydeevneDeSi Epitaksitjenester, der tilbydes af Semicera, er skræddersyet til at forbedre dine enheders elektriske egenskaber. Ved at dyrke siliciumlag med høj renhed med lav defekttæthed sikrer vi, at dine komponenter yder deres bedste, med forbedret transportørmobilitet og minimeret elektrisk resistivitet. Denne optimering er afgørende for at opnå de højhastigheds- og højeffektivitetsegenskaber, som moderne teknologi kræver.

Alsidighed i applikationer Semicera'sSi Epitaksier velegnet til en lang række applikationer, herunder produktion af CMOS-transistorer, power MOSFET'er og bipolære junction-transistorer. Vores fleksible proces giver mulighed for tilpasning baseret på de specifikke krav til dit projekt, uanset om du har brug for tynde lag til højfrekvente applikationer eller tykkere lag til strømenheder.

Overlegen materialekvalitetKvalitet er kernen i alt, hvad vi gør hos Semicera. VoresSi EpitaksiProcessen bruger state-of-the-art udstyr og teknikker til at sikre, at hvert siliciumlag opfylder de højeste standarder for renhed og strukturel integritet. Denne opmærksomhed på detaljer minimerer forekomsten af ​​defekter, der kan påvirke enhedens ydeevne, hvilket resulterer i mere pålidelige og længerevarende komponenter.

Forpligtelse til innovation Semiceraer forpligtet til at forblive på forkant med halvlederteknologi. VoresSi Epitaksitjenester afspejler denne forpligtelse, der inkorporerer de seneste fremskridt inden for epitaksielle vækstteknikker. Vi forfiner løbende vores processer for at levere siliciumlag, der opfylder industriens skiftende behov, hvilket sikrer, at dine produkter forbliver konkurrencedygtige på markedet.

Skræddersyede løsninger til dine behovForståelse af, at hvert projekt er unikt,Semiceraskræddersyede tilbudSi Epitaksiløsninger, der matcher dine specifikke behov. Uanset om du har brug for bestemte dopingprofiler, lagtykkelser eller overfladefinisher, arbejder vores team tæt sammen med dig for at levere et produkt, der opfylder dine præcise specifikationer.

genstande

Produktion

Forskning

Dummy

Krystal parametre

Polytype

4H

Overfladeorienteringsfejl

<11-20 >4±0,15°

Elektriske parametre

Dopant

n-type nitrogen

Resistivitet

0,015-0,025 ohm·cm

Mekaniske parametre

Diameter

150,0±0,2 mm

Tykkelse

350±25 μm

Primær flad orientering

[1-100]±5°

Primær flad længde

47,5±1,5 mm

Sekundær lejlighed

Ingen

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Sløjfe

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Forside (Si-face) ruhed (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Struktur

Mikrorørstæthed

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 e/cm2

Metal urenheder

≤5E10 atomer/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Front kvalitet

Front

Si

Overflade finish

Si-face CMP

Partikler

≤60ea/wafer (størrelse≥0,3μm)

NA

Ridser

≤5ea/mm. Kumulativ længde ≤Diameter

Kumulativ længde≤2*Diameter

NA

Appelsinskal/gruber/pletter/striber/ revner/forurening

Ingen

NA

Kantspåner/indrykninger/brud/sekskantplader

Ingen

Polytype områder

Ingen

Akkumuleret areal≤20 %

Akkumuleret areal≤30 %

Lasermarkering foran

Ingen

Rygkvalitet

Afslutning bagpå

C-face CMP

Ridser

≤5ea/mm, Kumulativ længde≤2*Diameter

NA

Rygdefekter (kantafslag/indrykninger)

Ingen

Ryg ruhed

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Lasermarkering bagpå

1 mm (fra øverste kant)

Edge

Edge

Chamfer

Emballage

Emballage

Epi-klar med vakuumemballage

Multi-wafer kassette emballage

*Bemærkninger: "NA" betyder ingen anmodning. Elementer, der ikke er nævnt, kan referere til SEMI-STD.

tech_1_2_størrelse
SiC wafers

  • Tidligere:
  • Næste: