Semicera'sSiC padlerer konstrueret til minimal termisk udvidelse, hvilket giver stabilitet og præcision i processer, hvor dimensionsnøjagtighed er kritisk. Dette gør dem ideelle til applikationer hvoroblaterudsættes for gentagne opvarmnings- og afkølingscyklusser, da waferbåden bevarer sin strukturelle integritet, hvilket sikrer ensartet ydeevne.
Inkorporerer Semicera'ersiliciumcarbid diffusionspadlerind i din produktionslinje vil øge din process pålidelighed takket være deres overlegne termiske og kemiske egenskaber. Disse padler er perfekte til diffusions-, oxidations- og udglødningsprocesser, hvilket sikrer, at wafers håndteres med omhu og præcision gennem hvert trin.
Innovation er kernen i SemicerasSiC pagajdesign. Disse skovle er skræddersyet til at passe problemfrit ind i eksisterende halvlederudstyr, hvilket giver forbedret håndteringseffektivitet. Den lette struktur og det ergonomiske design forbedrer ikke kun wafer-transporten, men reducerer også driftsnedetid, hvilket resulterer i strømlinet produktion.
| Fysiske egenskaber af omkrystalliseret siliciumcarbid | |
| Ejendom | Typisk værdi |
| Arbejdstemperatur (°C) | 1600°C (med ilt), 1700°C (reducerende miljø) |
| SiC indhold | > 99,96 % |
| Gratis Si-indhold | < 0,1 % |
| Bulkdensitet | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Tilsyneladende porøsitet | < 16 % |
| Kompressionsstyrke | > 600 MPa |
| Koldbøjningsstyrke | 80-90 MPa (20°C) |
| Varmbøjningsstyrke | 90-100 MPa (1400°C) |
| Termisk ekspansion ved 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Termisk ledningsevne @1200°C | 23 W/m•K |
| Elastikmodul | 240 GPa |
| Modstandsdygtighed over for termisk stød | Yderst god |
