SemiceraSiliciumcarbid keramisk belægninger en højtydende beskyttende belægning lavet af ekstremt hårdt og slidstærkt siliciumcarbid (SiC) materiale. Belægningen afsættes sædvanligvis på overfladen af substratet ved CVD- eller PVD-proces medsiliciumcarbidpartikler, der giver fremragende kemisk korrosionsbestandighed og høj temperaturstabilitet. Derfor er siliciumcarbid keramisk belægning i vid udstrækning brugt i nøglekomponenter i halvlederfremstillingsudstyr.
I halvlederfremstilling,SiC belægningkan modstå ekstremt høje temperaturer på op til 1600°C, så Silicon Carbide Ceramic Coating bruges ofte som et beskyttende lag til udstyr eller værktøj for at forhindre skader i høje temperaturer eller korrosive miljøer.
Samtidigsiliciumcarbid keramisk belægningkan modstå erosion af syrer, alkalier, oxider og andre kemiske reagenser og har høj korrosionsbestandighed over for en række kemiske stoffer. Derfor er dette produkt velegnet til forskellige korrosive miljøer i halvlederindustrien.
Sammenlignet med andre keramiske materialer har SiC desuden højere varmeledningsevne og kan effektivt lede varme. Denne funktion bestemmer, at i halvlederprocesser, der kræver præcis temperaturstyring, er den høje termiske ledningsevne afSiliciumcarbid keramisk belægninghjælper med at sprede varmen jævnt, forhindre lokal overophedning og sikre, at enheden fungerer ved den optimale temperatur.
| Grundlæggende fysiske egenskaber af CVD sic coating | |
| Ejendom | Typisk værdi |
| Krystal struktur | FCC β-fase polykrystallinsk, hovedsageligt (111) orienteret |
| Tæthed | 3,21 g/cm³ |
| Hårdhed | 2500 Vickers hårdhed（500g belastning） |
| Kornstørrelse | 2~10μm |
| Kemisk renhed | 99,99995 % |
| Varmekapacitet | 640 J·kg-1·K-1 |
| Sublimeringstemperatur | 2700 ℃ |
| Bøjestyrke | 415 MPa RT 4-punkt |
| Youngs modul | 430 Gpa 4pt bøjning, 1300℃ |
| Termisk ledningsevne | 300W·m-1·K-1 |
| Termisk udvidelse (CTE) | 4,5×10-6K-1 |
