Beskrivelse
Semicorex Wafer Carriers med SiC Coating giver enestående termisk stabilitet og ledningsevne, hvilket sikrer ensartet varmefordeling under CVD-processer, afgørende for højkvalitets tyndfilm og belægningsegenskaber.
Nøglefunktioner:
1. Fremragende termisk stabilitet og ledningsevneVores SiC-belagte waferbærere udmærker sig ved at opretholde stabile og ensartede temperaturer, hvilket er afgørende for CVD-processer. Dette sikrer ensartet varmefordeling, hvilket fører til overlegen tynd film og belægningskvalitet.
2. PræcisionsfremstillingHver waferbærer er fremstillet efter strenge standarder, hvilket sikrer ensartet tykkelse og overfladeglathed. Denne præcision er afgørende for at opnå ensartede aflejringshastigheder og filmegenskaber på tværs af flere wafere, hvilket forbedrer den samlede produktionskvalitet.
3. UrenhedsbarriereSiC-belægningen fungerer som en uigennemtrængelig barriere, der forhindrer diffusion af urenheder fra susceptoren ind i waferen. Dette minimerer forureningsrisici, hvilket er afgørende for fremstilling af højrente halvlederenheder.
4. Holdbarhed og omkostningseffektivitetDen robuste konstruktion og SiC-belægning øger holdbarheden af waferbærerne, hvilket reducerer hyppigheden af susceptorudskiftninger. Dette fører til lavere vedligeholdelsesomkostninger og minimeret nedetid, hvilket øger effektiviteten af halvlederproduktionsoperationer.
5. TilpasningsmulighederSemicorex Wafer Carriers med SiC Coating kan tilpasses til at opfylde specifikke proceskrav, herunder variationer i størrelse, form og belægningstykkelse. Denne fleksibilitet muliggør optimering af susceptoren for at matche de unikke krav fra forskellige halvlederfremstillingsprocesser. Tilpasningsmuligheder muliggør udvikling af susceptordesigns, der er skræddersyet til specialiserede applikationer, såsom højvolumenproduktion eller forskning og udvikling, hvilket sikrer optimal ydeevne til specifikke anvendelsestilfælde.
Ansøgninger:
Semicera Wafer Carriers med SiC Coating er ideel til:
• Epitaksial vækst af halvledermaterialer
• Kemisk dampaflejring (CVD) processer
• Produktion af højkvalitets halvlederwafere
• Avancerede applikationer til fremstilling af halvledere