Siliciumcarbid wafer slibeskive, Ras0.2um

Kort beskrivelse:

Termisk ekspansionskoefficient for siliciumcarbidslibeskive er lille, høj styrke, høj hårdhed, lang levetid, lave omkostninger, og termisk ekspansionskoefficient er stort set den samme som siliciumwafer, brugen af ​​siliciumcarbidslibeskive kan løse de høje krav til slibning og polering, forbedre slibekvaliteten og effektiviteten.Anvendes hovedsageligt i storstilet integreret kredsløb silicium substrat og fotovoltaisk industri silicium wafer polering.


Produktdetaljer

Produkt Tags

Siliciumcarbid waferslibning9

Slibeskive er et vigtigt procesudstyr til fremstilling af siliciumskiver til integrerede kredsløb i ultra-stor skala i halvlederindustrien. Normalt brugt slibeskive af støbejern eller kulstofstål har lav levetid og stor termisk udvidelseskoefficient. I processen med at behandle siliciumwafers, især i processen med højhastighedsslibning eller polering, er fladheden og paralleliteten af ​​siliciumwafere vanskelige at sikre på grund af slid og termisk deformation af slibeskiven.

Slibeskiven af ​​siliciumcarbidkeramik kan slibes og poleres ved høj hastighed på grund af slibeskivens høje hårdhed og lille slid, og den termiske udvidelseskoefficient er stort set den samme som siliciumwaferens. Især i de senere år bliver størrelsen af ​​silicium wafer større og større, hvilket stiller højere krav til kvaliteten og effektiviteten af ​​silicium wafer slibning.

Siliciumcarbid waferslibning7
Siliciumcarbid waferslibning8

Brugen af ​​siliciumcarbid keramisk slibeskive vil i høj grad forbedre kvaliteten og effektiviteten af ​​silicium wafer slibning. Samtidig kan den keramiske slibeskive af siliciumcarbid også bruges til at slibe og polere planet af andre materialer såsom flager eller blokobjekter. Med udviklingen af ​​industrialiseringen, især implementeringen af ​​den internationale ISO14000-standard, er der stillet højere krav til transport af væsker, der ikke er befordrende for miljøbeskyttelse.

En af de vigtigste egenskaber ved siliciumcarbidkeramik er dens højtemperaturstyrke, det vil sige, at styrken dybest set ikke reduceres ved 1600 grader, og oxidationsmodstanden er meget god, så den kan bruges i højtemperaturstrukturdele. Såsom toppladen på højtemperaturovne, støtte- og højtemperatureksperimentarmaturer.

Sammenligning af SIC keramiske materialer
ADFvZCVXCD

SemiceraEnergy Technology Co., Ltd er en professionel forskning, udvikling, produktion og salg af siliciumcarbid keramiske produkter.Siden etableringen i 2016,SemiceraEnergi har mestret isostatisk pressestøbningsproces, tusindpressende støbeproces, fugestøbeproces og vakuumekstruderingsstøbningsproces. Vores virksomhed bruger 6 siliciumcarbid keramiske sintringsproduktionslinjer, har 8 CNC, 6 præcisionsslibemaskiner, kan også give dig siliciumcarbid keramiske sintrede produkter, men kan også levere siliciumcarbid keramik, alumina keramik, aluminiumnitrid keramik, zirconia keramik tjenester .

Kvalitetskontrol
11

  • Tidligere:
  • Næste: