Wafer Carriers

Kort beskrivelse:

Wafer Carriers– Sikre og effektive waferhåndteringsløsninger fra Semicera, designet til at beskytte og transportere halvlederwafere med den største præcision og pålidelighed i avancerede produktionsmiljøer.


Produktdetaljer

Produkt Tags

Semicera præsenterer den brancheførendeWafer Carriers, udviklet til at give overlegen beskyttelse og problemfri transport af sarte halvlederwafere på tværs af forskellige stadier af fremstillingsprocessen. VoresWafer Carrierser omhyggeligt designet til at imødekomme de strenge krav fra moderne halvlederfremstilling, hvilket sikrer, at integriteten og kvaliteten af ​​dine wafere opretholdes til enhver tid.

 

Nøglefunktioner:

• Premium materialekonstruktion:Fremstillet af højkvalitets, forureningsbestandige materialer, der garanterer holdbarhed og lang levetid, hvilket gør dem ideelle til renrumsmiljøer.

Præcisionsdesign:Har præcis spaltejustering og sikre holdemekanismer for at forhindre waferglidning og beskadigelse under håndtering og transport.

Alsidig kompatibilitet:Kan rumme en bred vifte af waferstørrelser og -tykkelser, hvilket giver fleksibilitet til forskellige halvlederapplikationer.

Ergonomisk håndtering:Letvægts og brugervenligt design gør det nemt at læsse og losse, hvilket øger driftseffektiviteten og reducerer håndteringstiden.

Tilpasningsmuligheder:Tilbyder tilpasning til at imødekomme specifikke krav, herunder materialevalg, størrelsesjusteringer og mærkning for optimeret workflow-integration.

 

Forbedre din halvlederfremstillingsproces med SemicerasWafer Carriers, den perfekte løsning til at beskytte dine wafere mod forurening og mekanisk skade. Stol på vores forpligtelse til kvalitet og innovation for at levere produkter, der ikke kun opfylder, men overgår industristandarder, og sikrer, at din drift kører problemfrit og effektivt.

genstande

Produktion

Forskning

Dummy

Krystal parametre

Polytype

4H

Overfladeorienteringsfejl

<11-20 >4±0,15°

Elektriske parametre

Dopant

n-type nitrogen

Resistivitet

0,015-0,025 ohm·cm

Mekaniske parametre

Diameter

150,0±0,2 mm

Tykkelse

350±25 μm

Primær flad orientering

[1-100]±5°

Primær flad længde

47,5±1,5 mm

Sekundær lejlighed

Ingen

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Sløjfe

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Warp

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Forside (Si-face) ruhed (AFM)

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Struktur

Mikrorørstæthed

<1 ea/cm2

<10 ea/cm2

<15 e/cm2

Metal urenheder

≤5E10 atomer/cm2

NA

BPD

≤1500 ea/cm2

≤3000 ea/cm2

NA

TSD

≤500 ea/cm2

≤1000 ea/cm2

NA

Front kvalitet

Front

Si

Overflade finish

Si-face CMP

Partikler

≤60ea/wafer (størrelse≥0,3μm)

NA

Ridser

≤5ea/mm. Kumulativ længde ≤Diameter

Kumulativ længde≤2*Diameter

NA

Appelsinskal/gruber/pletter/striber/ revner/forurening

Ingen

NA

Kantspåner/indrykninger/brud/sekskantplader

Ingen

Polytype områder

Ingen

Akkumuleret areal≤20 %

Akkumuleret areal≤30 %

Lasermarkering foran

Ingen

Rygkvalitet

Afslutning bagpå

C-face CMP

Ridser

≤5ea/mm, Kumulativ længde≤2*Diameter

NA

Rygdefekter (kantafslag/indrykninger)

Ingen

Ryg ruhed

Ra≤0,2nm (5μm*5μm)

Lasermarkering bagpå

1 mm (fra øverste kant)

Edge

Edge

Chamfer

Emballage

Emballage

Epi-klar med vakuumemballage

Multi-wafer kassetteemballage

*Bemærkninger: "NA" betyder ingen anmodning. Elementer, der ikke er nævnt, kan referere til SEMI-STD.

tech_1_2_størrelse
SiC wafers

  • Tidligere:
  • Næste: