Semicera'sWafer Cassetteer en kritisk komponent i halvlederfremstillingsprocessen, designet til sikkert at holde og transportere sarte halvlederwafere. DeWafer Cassettegiver enestående beskyttelse og sikrer, at hver wafer holdes fri for forurenende stoffer og fysiske skader under håndtering, opbevaring og transport.
Konstrueret med høj renhed, kemikalie-resistente materialer, SemiceraWafer Cassettegaranterer det højeste niveau af renlighed og holdbarhed, hvilket er afgørende for at bevare integriteten af wafere i alle produktionstrin. Præcisionskonstruktionen af disse kassetter giver mulighed for problemfri integration med automatiserede håndteringssystemer, hvilket minimerer risikoen for forurening og mekanisk skade.
Designet afWafer Cassetteunderstøtter også optimal luftstrøm og temperaturkontrol, hvilket er afgørende for processer, der kræver specifikke miljøforhold. Uanset om det bruges i renrum eller under termisk behandling, SemiceraWafer Cassetteer konstrueret til at imødekomme de strenge krav fra halvlederindustrien, hvilket giver pålidelig og ensartet ydeevne for at forbedre produktionseffektiviteten og produktkvaliteten.
| genstande | Produktion | Forskning | Dummy |
| Krystal parametre | |||
| Polytype | 4H | ||
| Overfladeorienteringsfejl | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektriske parametre | |||
| Dopant | n-type nitrogen | ||
| Resistivitet | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mekaniske parametre | |||
| Diameter | 150,0±0,2 mm | ||
| Tykkelse | 350±25 μm | ||
| Primær flad orientering | [1-100]±5° | ||
| Primær flad længde | 47,5±1,5 mm | ||
| Sekundær lejlighed | Ingen | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Sløjfe | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Forside (Si-face) ruhed (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Mikrorørstæthed | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 e/cm2 |
| Metal urenheder | ≤5E10 atomer/cm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/cm2 | ≤3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/cm2 | ≤1000 ea/cm2 | NA |
| Front kvalitet | |||
| Front | Si | ||
| Overflade finish | Si-face CMP | ||
| Partikler | ≤60ea/wafer (størrelse≥0,3μm) | NA | |
| Ridser | ≤5ea/mm. Kumulativ længde ≤Diameter | Kumulativ længde≤2*Diameter | NA |
| Appelsinskal/gruber/pletter/striber/ revner/forurening | Ingen | NA | |
| Kantspåner/indrykninger/brud/sekskantplader | Ingen | ||
| Polytype områder | Ingen | Akkumuleret areal≤20 % | Akkumuleret areal≤30 % |
| Lasermarkering foran | Ingen | ||
| Rygkvalitet | |||
| Afslutning bagpå | C-face CMP | ||
| Ridser | ≤5ea/mm, Kumulativ længde≤2*Diameter | NA | |
| Rygdefekter (kantafslag/indrykninger) | Ingen | ||
| Ryg ruhed | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Lasermarkering bagpå | 1 mm (fra øverste kant) | ||
| Edge | |||
| Edge | Chamfer | ||
| Emballage | |||
| Emballage | Epi-klar med vakuumemballage Multi-wafer kassette emballage | ||
| *Bemærkninger: "NA" betyder ingen anmodning. Elementer, der ikke er nævnt, kan referere til SEMI-STD. | |||
