Porøs tantalcarbid belagttønde er tantalcarbid som det vigtigste belægningsmateriale, tantalcarbid har fremragende korrosionsbestandighed, slidstyrke og høj temperaturstabilitet. Det kan effektivt beskytte basismaterialet mod kemisk erosion og høj temperatur atmosfære. Grundmaterialet har sædvanligvis karakteristika for høj temperaturbestandighed og korrosionsbestandighed. Det kan give god mekanisk styrke og kemisk stabilitet, og samtidig tjene som det understøttende grundlag fortantalcarbid belægning.
Semicera leverer specialiserede tantalcarbid (TaC) belægninger til forskellige komponenter og bærere.Semicera førende belægningsproces gør det muligt for tantalcarbid (TaC)-belægninger at opnå høj renhed, høj temperaturstabilitet og høj kemisk tolerance, hvilket forbedrer produktkvaliteten af SIC/GAN-krystaller og EPI-lag (Grafitbelagt TaC-susceptor), og forlænge levetiden af nøglereaktorkomponenter. Brugen af tantalcarbid TaC-belægning er at løse kantproblemet og forbedre kvaliteten af krystalvækst, og Semicera har gennembrud løst tantalcarbidbelægningsteknologien (CVD) og nåede det internationale avancerede niveau.
Efter års udvikling har Semicera erobret teknologienCVD TaCmed fælles indsats fra R&D-afdelingen. Defekter er let at opstå i vækstprocessen af SiC wafers, men efter brugTaC, forskellen er betydelig. Nedenfor er en sammenligning af wafers med og uden TaC, samt Simicera' dele til enkeltkrystalvækst.
med og uden TaC
Efter brug af TaC (højre)
Desuden Semicera'sTaC-belagte produkterudviser en længere levetid og større modstandsdygtighed over for høje temperaturer i forhold tilSiC belægninger.Laboratoriemålinger har vist, at voresTaC belægningerkan konsekvent udføre ved temperaturer op til 2300 grader Celsius i længere perioder. Nedenfor er nogle eksempler på vores prøver:
