SiC-belagt epitaksial reaktorrør

Kort beskrivelse:

Semicera tilbyder et omfattende udvalg af susceptorer og grafitkomponenter designet til forskellige epitaksereaktorer.

Gennem strategiske partnerskaber med brancheførende OEM'er, omfattende materialeekspertise og avancerede produktionskapaciteter, leverer Semicera skræddersyede designs til at opfylde de specifikke krav til din applikation.Vores forpligtelse til ekspertise sikrer, at du modtager optimale løsninger til dine epitaksereaktorbehov.

 

Produktdetaljer

Produkt Tags

Beskrivelse

Vores firma levererSiC belægningprocestjenester på overfladen af ​​grafit, keramik og andre materialer ved CVD-metoden, således at specielle gasser, der indeholder kulstof og silicium, kan reagere ved høj temperatur for at opnå Sic-molekyler med høj renhed, som kan aflejres på overfladen af ​​coatede materialer for at danne enSiC beskyttelseslagtil epitaksy tønde type hy pnotisk.

 

sic (1)

sic (2)

Hovedtræk

1. Høj temperatur oxidationsmodstand:
oxidationsmodstanden er stadig meget god, når temperaturen er så høj som 1600 C.
2. Høj renhed: Fremstillet ved kemisk dampaflejring under højtemperaturkloreringsbetingelser.
3. Erosionsbestandighed: høj hårdhed, kompakt overflade, fine partikler.
4. Korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning

SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur FCC β-fase
Massefylde g/cm³ 3.21
Hårdhed Vickers hårdhed 2500
Kornstørrelse μm 2~10
Kemisk renhed % 99,99995
Varmekapacitet J·kg-1 ·K-1 640
Sublimeringstemperatur 2700
Feleksural styrke MPa (RT 4-punkts) 415
Youngs modul Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃) 430
Termisk udvidelse (CTE) 10-6K-1 4.5
Varmeledningsevne (W/mK) 300
Semicera Arbejdsplads
Semicera arbejdsplads 2
Udstyr maskine
CNN-behandling, kemisk rensning, CVD-belægning
Vores service

  • Tidligere:
  • Næste: