Grafitsusceptorer med siliciumcarbidbelægningsdæksel til tønde

Kort beskrivelse:

Semicera tilbyder et omfattende udvalg af susceptorer og grafitkomponenter designet til forskellige epitaksereaktorer.

Gennem strategiske partnerskaber med brancheførende OEM'er, omfattende materialeekspertise og avancerede produktionskapaciteter, leverer Semicera skræddersyede designs, der opfylder de specifikke krav til din applikation. Vores forpligtelse til ekspertise sikrer, at du modtager optimale løsninger til dine epitaksereaktorbehov.

 


Produktdetaljer

Produkt Tags

Beskrivelse

Vores virksomhed leverer SiC-belægningsprocestjenester ved CVD-metode på overfladen af ​​grafit, keramik og andre materialer, således at specielle gasser, der indeholder kulstof og silicium, reagerer ved høj temperatur for at opnå høj renhed SiC-molekyler, molekyler aflejret på overfladen af ​​de belagte materialer, danner SIC-beskyttelseslag.

SiC induktorer 1
SiC induktorer 2

Hovedtræk

1.Høj renhed SiC-belagt grafit

2. Overlegen varmebestandighed og termisk ensartethed

3. Fin SiC krystal belagt for en glat overflade

4. Høj holdbarhed mod kemisk rengøring

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning

SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur FCC β-fase
Tæthed g/cm³ 3.21
Hårdhed Vickers hårdhed 2500
Kornstørrelse μm 2~10
Kemisk renhed % 99,99995
Varmekapacitet J·kg-1 ·K-1 640
Sublimeringstemperatur 2700
Feleksural styrke MPa (RT 4-punkt) 415
Youngs modul Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃) 430
Termisk udvidelse (CTE) 10-6K-1 4.5
Termisk ledningsevne (W/mK) 300
billede 3
billede 1
billede 2
billede 4
billede 5
Semicera Arbejdsplads
Semicera arbejdsplads 2
Udstyr maskine
CNN-behandling, kemisk rensning, CVD-belægning
Vores service

  • Tidligere:
  • Næste: