Beskrivelse
Semiceras SiC-belagte grafitsusceptorer er konstrueret ved hjælp af grafitsubstrater af høj kvalitet, som er omhyggeligt belagt med siliciumcarbid (SiC) gennem avancerede kemiske dampaflejringsprocesser (CVD). Dette innovative design sikrer enestående modstandsdygtighed over for termisk chok og kemisk nedbrydning, hvilket forlænger levetiden for den SiC-belagte grafitsusceptor betydeligt og garanterer pålidelig ydeevne gennem hele halvlederfremstillingsprocessen.
Nøglefunktioner:
1. Overlegen termisk ledningsevneDen SiC-belagte grafitsusceptor udviser enestående termisk ledningsevne, hvilket er afgørende for effektiv varmeafledning under halvlederfremstilling. Denne funktion minimerer termiske gradienter på waferoverfladen, hvilket fremmer ensartet temperaturfordeling, der er afgørende for at opnå de ønskede halvlederegenskaber.
2. Robust kemisk og termisk stødmodstandSiC-belægningen giver en formidabel beskyttelse mod kemisk korrosion og termisk chok, og bevarer grafitsusceptorens integritet selv i barske forarbejdningsmiljøer. Denne forbedrede holdbarhed reducerer nedetid og forlænger levetiden, hvilket bidrager til øget produktivitet og omkostningseffektivitet i halvlederproduktionsfaciliteter.
3. Tilpasning til specifikke behovVores SiC-belagte grafitsusceptorer kan skræddersyes til at opfylde specifikke krav og præferencer. Vi tilbyder en række tilpasningsmuligheder, herunder størrelsesjusteringer og variationer i belægningstykkelse, for at sikre designfleksibilitet og optimeret ydeevne til forskellige applikationer og procesparametre.
Ansøgninger:
AnvendelserSemicera SiC-belægninger bruges i forskellige stadier af halvlederfremstilling, herunder:
1. -LED Chip Fabrikation
2. -Polysiliciumproduktion
3. - Halvleder krystalvækst
4. -Silicon og SiC Epitaksi
5. -Termisk oxidation og diffusion (TO&D)
Tekniske specifikationer:
