Halvleder SiC belagt monokrystallinsk silicium epitaksial skive

Kort beskrivelse:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. er en førende leverandør med speciale i wafer og avancerede halvlederforbrugsstoffer.Vi er dedikerede til at levere pålidelige og innovative produkter af høj kvalitet til halvlederfremstilling,solcelleindustrienog andre relaterede områder.

Vores produktlinje inkluderer SiC/TaC-belagte grafitprodukter og keramiske produkter, der omfatter forskellige materialer såsom siliciumcarbid, siliciumnitrid og aluminiumoxid og etc.

Som en betroet leverandør forstår vi vigtigheden af ​​forbrugsstoffer i fremstillingsprocessen, og vi er forpligtet til at levere produkter, der opfylder de højeste kvalitetsstandarder for at opfylde vores kunders behov.

 

 

Produktdetaljer

Produkt Tags

Beskrivelse

Vores firma levererSiC belægningprocestjenester ved CVD-metoden på overfladen af ​​grafit, keramik og andre materialer, således at specielle gasser indeholdende kulstof og silicium reagerer ved høj temperatur for at opnå høj renhed SiC-molekyler, molekyler aflejret på overfladen af ​​de coatede materialer, der dannerSIC beskyttende lag.

 
Monokrystallinsk silicium epitaksial plade
PSS Etch Carrier (3)

Hovedtræk

1. Høj temperatur oxidationsmodstand:
oxidationsmodstanden er stadig meget god, når temperaturen er så høj som 1600 C.
2. Høj renhed: Fremstillet ved kemisk dampaflejring under højtemperaturkloreringsbetingelser.
3. Erosionsbestandighed: høj hårdhed, kompakt overflade, fine partikler.
4. Korrosionsbestandighed: syre, alkali, salt og organiske reagenser.

Hovedspecifikationer for CVD-SIC belægning

SiC-CVD egenskaber
Krystal struktur FCC β-fase
Massefylde g/cm³ 3.21
Hårdhed Vickers hårdhed 2500
Kornstørrelse μm 2~10
Kemisk renhed % 99,99995
Varmekapacitet J·kg-1 ·K-1 640
Sublimeringstemperatur 2700
Feleksural styrke MPa (RT 4-punkts) 415
Youngs modul Gpa (4pt bøjning, 1300 ℃) 430
Termisk udvidelse (CTE) 10-6K-1 4.5
Varmeledningsevne (W/mK) 300
Semicera Arbejdsplads
Semicera arbejdsplads 2
Udstyr maskine
CNN-behandling, kemisk rensning, CVD-belægning
Vores service

  • Tidligere:
  • Næste: