TaC belægninger en vigtig materialebelægning, som sædvanligvis fremstilles på en grafitbase ved hjælp af metal organisk kemisk dampaflejring (MOCVD) teknologi. Denne belægning har fremragende egenskaber, såsom høj hårdhed, fremragende slidstyrke, høj temperaturbestandighed og kemisk stabilitet, og er velegnet til forskellige høje krav ingeniørapplikationer.
MOCVD-teknologi er en almindeligt anvendt tyndfilmvækstteknologi, der afsætter den ønskede sammensatte film på substratoverfladen ved at reagere organiske metalprækursorer med reaktive gasser ved høje temperaturer. Ved forberedelseTaC belægningved valg af passende metalorganiske forstadier og kulstofkilder, kontrol af reaktionsbetingelser og aflejringsparametre, kan en ensartet og tæt TaC-film afsættes på en grafitbase.
Semicera leverer specialiserede tantalcarbid (TaC) belægninger til forskellige komponenter og bærere.Semicera førende belægningsproces gør det muligt for tantalcarbid (TaC)-belægninger at opnå høj renhed, høj temperaturstabilitet og høj kemisk tolerance, hvilket forbedrer produktkvaliteten af SIC/GAN-krystaller og EPI-lag (Grafitbelagt TaC-susceptor), og forlænge levetiden af nøglereaktorkomponenter. Brugen af tantalcarbid TaC-belægning er at løse kantproblemet og forbedre kvaliteten af krystalvækst, og Semicera har gennembrud løst tantalcarbidbelægningsteknologien (CVD) og nåede det internationale avancerede niveau.
Efter års udvikling har Semicera erobret teknologienCVD TaCmed fælles indsats fra R&D-afdelingen. Defekter er let at opstå i vækstprocessen af SiC wafers, men efter brugTaC, forskellen er betydelig. Nedenfor er en sammenligning af wafers med og uden TaC, samt Simicera' dele til enkeltkrystalvækst.
med og uden TaC
Efter brug af TaC (højre)
Desuden Semicera'sTaC-belagte produkterudviser en længere levetid og større modstandsdygtighed over for høje temperaturer i forhold tilSiC belægninger.Laboratoriemålinger har vist, at voresTaC belægningerkan konsekvent udføre ved temperaturer op til 2300 grader Celsius i længere perioder. Nedenfor er nogle eksempler på vores prøver:
