Tantalcarbid (TaC) belagt susceptor til epitaksiudstyr

Kort beskrivelse:

Grafit er et fremragende højtemperaturmateriale, men det oxiderer let ved høje temperaturer.Selv i vakuumovne med inert gas kan den stadig undergå langsom oxidation.Brug af en CVD tantalcarbid (TaC) belægning kan effektivt beskytte grafitsubstratet, hvilket giver samme højtemperaturbestandighed som grafit.TaC er også et inert materiale, hvilket betyder, at det ikke vil reagere med gasser som argon eller brint ved høje temperaturer.Forespørgsel Tantalcarbid (TaC) belagt susceptor til epitaksiudstyr nu!

Send e-mail til os

Produktdetaljer

Produkt Tags

Semicera leverer specialiserede tantalcarbid (TaC) belægninger til forskellige komponenter og bærere.Semicera førende belægningsproces gør det muligt for tantalcarbid (TaC)-belægninger at opnå høj renhed, høj temperaturstabilitet og høj kemisk tolerance, hvilket forbedrer produktkvaliteten af SIC/GAN-krystaller og EPI-lag (Grafitbelagt TaC-susceptor), og forlænge levetiden af nøglereaktorkomponenter.Brugen af tantalcarbid TaC-belægning er at løse kantproblemet og forbedre kvaliteten af krystalvækst, og Semicera har gennembrud løst tantalcarbidbelægningsteknologien (CVD) og nåede det internationale avancerede niveau.

Efter års udvikling har Semicera erobret teknologienCVD TaCmed fælles indsats fra R&D-afdelingen.Defekter er let at opstå i vækstprocessen af SiC wafers, men efter brugTaC, forskellen er betydelig.Nedenfor er en sammenligning af wafers med og uden TaC, samt Simicera' dele til enkeltkrystalvækst.

Højeffektiv tantalkarbidbelægning_ forbedrer industriel produktionseffektivitet og reducerer vedligeholdelsesomkostninger. Udvalgt billede

Tac del til vækst enkeltkrystal

Antislid tantalcarbid belægning_ Beskytter udstyr mod slid og korrosion Udvalgt billede

Grafit med TaC belagt ring

med og uden TaC

Efter brug af TaC (højre)

Desuden Semicera'sTaC-belagte produkterudviser en længere levetid og større modstandsdygtighed over for høje temperaturer i forhold tilSiC belægninger.Laboratoriemålinger har vist, at voresTaC belægningerkan konsekvent udføre ved temperaturer op til 2300 grader Celsius i længere perioder.Nedenfor er nogle eksempler på vores prøver: