Semicera leverer specialiserede tantalcarbid (TaC) belægninger til forskellige komponenter og bærere.Semicera førende belægningsproces gør det muligt for tantalcarbid (TaC)-belægninger at opnå høj renhed, høj temperaturstabilitet og høj kemisk tolerance, hvilket forbedrer produktkvaliteten af SIC/GAN-krystaller og EPI-lag (Grafitbelagt TaC-susceptor), og forlænge levetiden af nøglereaktorkomponenter. Brugen af tantalcarbid TaC-belægning er at løse kantproblemet og forbedre kvaliteten af krystalvækst, og Semicera har gennembrud løst tantalcarbidbelægningsteknologien (CVD) og nåede det internationale avancerede niveau.
Tantalcarbid-belagte waferbærere bruges i vid udstrækning til waferbehandling og håndteringsprocesser i halvlederfremstillingsprocesser. De giver stabil støtte og beskyttelse for at sikre sikkerheden, nøjagtigheden og konsistensen af wafere under fremstillingsprocessen. Tantalkarbidbelægninger kan forlænge bærerens levetid, reducere omkostningerne og forbedre kvaliteten og pålideligheden af halvlederprodukter.
Beskrivelse af tantalcarbid-coated wafer-bærer er som følger:
1. Materialevalg: Tantalcarbid er et materiale med fremragende ydeevne, høj hårdhed, højt smeltepunkt, korrosionsbestandighed og fremragende mekaniske egenskaber, så det er meget udbredt i halvlederfremstillingsprocessen.
2. Overfladebelægning: Tantalcarbidbelægning påføres overfladen af waferbæreren gennem en speciel belægningsproces for at danne en ensartet og tæt tantalcarbidbelægning. Denne belægning kan give yderligere beskyttelse og slidstyrke, samtidig med at den har god varmeledningsevne.
3. Fladhed og præcision: Tantalkarbidbelagt waferbærer har en høj grad af fladhed og præcision, hvilket sikrer stabiliteten og nøjagtigheden af wafers under fremstillingsprocessen. Fladheden og finishen af bæreoverfladen er afgørende for at sikre kvaliteten og ydeevnen af waferen.
4. Temperaturstabilitet: Tantalcarbidbelagte waferbærere kan opretholde stabilitet i højtemperaturmiljøer uden deformation eller løsne, hvilket sikrer stabiliteten og konsistensen af wafers i højtemperaturprocesser.
5. Korrosionsbestandighed: Tantalkarbidbelægninger har fremragende korrosionsbestandighed, kan modstå erosion af kemikalier og opløsningsmidler og beskytter bæreren mod væske- og gaskorrosion.
med og uden TaC
Efter brug af TaC (højre)
Desuden Semicera'sTaC-belagte produkterudviser en længere levetid og større modstandsdygtighed over for høje temperaturer i forhold tilSiC belægninger.Laboratoriemålinger har vist, at voresTaC belægningerkan konsekvent udføre ved temperaturer op til 2300 grader Celsius i længere perioder. Nedenfor er nogle eksempler på vores prøver:
