Tantalcarbid belagt grafitpladeer et grafitmateriale med et tyndt lag aftantalcarbidpå overfladen af underlaget. Det tynde lag af tantalcarbid dannes sædvanligvis på overfladen af grafitsubstratet ved teknikker såsom fysisk dampaflejring (PVD) eller kemisk dampaflejring (CVD). Denne belægning har fremragende egenskaber såsom høj hårdhed, fremragende slidstyrke, korrosionsbestandighed og høj temperaturstabilitet.
Semicera leverer specialiserede tantalcarbid (TaC) belægninger til forskellige komponenter og bærere.Semicera førende belægningsproces gør det muligt for tantalcarbid (TaC)-belægninger at opnå høj renhed, høj temperaturstabilitet og høj kemisk tolerance, hvilket forbedrer produktkvaliteten af SIC/GAN-krystaller og EPI-lag (Grafitbelagt TaC-susceptor), og forlænge levetiden af nøglereaktorkomponenter. Brugen af tantalcarbid TaC-belægning er at løse kantproblemet og forbedre kvaliteten af krystalvækst, og Semicera har gennembrud løst tantalcarbidbelægningsteknologien (CVD) og nåede det internationale avancerede niveau.
Efter års udvikling har Semicera erobret teknologienCVD TaCmed fælles indsats fra R&D-afdelingen. Defekter er let at opstå i vækstprocessen af SiC wafers, men efter brugTaC, forskellen er betydelig. Nedenfor er en sammenligning af wafers med og uden TaC, samt Simicera' dele til enkeltkrystalvækst.
De vigtigste fordele ved tantalcarbid belagt grafitplade omfatter:
1. Højtemperaturbestandighed: Tantalcarbid har et højt smeltepunkt og fremragende højtemperaturstabilitet, hvilket gør den belagte grafitplade velegnet til brug i højtemperaturmiljøer.
2. Korrosionsbestandighed: Tantalkarbidbelægning kan modstå erosion af mange kemiske ætsende stoffer og forlænge materialets levetid.
3. Høj hårdhed: Den høje hårdhed af det tynde lag af tantalcarbid giver god slidstyrke og er velegnet til applikationer, der kræver høj slidstyrke.
4. Kemisk stabilitet: Tantalcarbid-belægning har fremragende stabilitet over for kemisk korrosion og er velegnet til brug i nogle korrosive medier.
med og uden TaC
Efter brug af TaC (højre)
Desuden Semicera'sTaC-belagte produkterudviser en længere levetid og større modstandsdygtighed over for høje temperaturer i forhold tilSiC belægninger.Laboratoriemålinger har vist, at voresTaC belægningerkan konsekvent udføre ved temperaturer op til 2300 grader Celsius i længere perioder. Nedenfor er nogle eksempler på vores prøver:
