Tantalcarbid belagt susceptor støttepladeer en susceptor eller støttestruktur, der er dækket med et tyndt lag aftantalcarbid. Denne belægning kan dannes på susceptoroverfladen ved teknikker såsom fysisk dampaflejring (PVD) eller kemisk dampaflejring (CVD), hvilket giver susceptoren de overlegne egenskaber somtantalcarbid.
Semicera leverer specialiserede tantalcarbid (TaC) belægninger til forskellige komponenter og bærere.Semicera førende belægningsproces gør det muligt for tantalcarbid (TaC)-belægninger at opnå høj renhed, høj temperaturstabilitet og høj kemisk tolerance, hvilket forbedrer produktkvaliteten af SIC/GAN-krystaller og EPI-lag (Grafitbelagt TaC-susceptor), og forlænge levetiden af nøglereaktorkomponenter. Brugen af tantalcarbid TaC-belægning er at løse kantproblemet og forbedre kvaliteten af krystalvækst, og Semicera har gennembrud løst tantalcarbidbelægningsteknologien (CVD) og nåede det internationale avancerede niveau.
Efter års udvikling har Semicera erobret teknologienCVD TaCmed fælles indsats fra R&D-afdelingen. Defekter er let at opstå i vækstprocessen af SiC wafers, men efter brugTaC, forskellen er betydelig. Nedenfor er en sammenligning af wafers med og uden TaC, samt Simicera' dele til enkeltkrystalvækst.
Hovedegenskaberne ved tantalcarbid-belagte bundstøtteplader inkluderer:
1. Højtemperaturstabilitet: Tantalcarbid har fremragende højtemperaturstabilitet, hvilket gør den belagte bundstøtteplade velegnet til støttebehov i arbejdsmiljøer med høj temperatur.
2. Korrosionsbestandighed: Tantalkarbidbelægning har god korrosionsbestandighed, kan modstå kemisk korrosion og oxidation og forlænge basens levetid.
3. Høj hårdhed og slidstyrke: Den høje hårdhed af tantalkarbidbelægning giver basisstøttepladen god slidstyrke, som er velegnet til lejligheder, der kræver høj slidstyrke.
4. Kemisk stabilitet: Tantalcarbid har høj stabilitet over for en række kemiske stoffer, hvilket får den coatede basisstøtteplade til at fungere godt i nogle korrosive miljøer.
med og uden TaC
Efter brug af TaC (højre)
Desuden Semicera'sTaC-belagte produkterudviser en længere levetid og større modstandsdygtighed over for høje temperaturer i forhold tilSiC belægninger.Laboratoriemålinger har vist, at voresTaC belægningerkan konsekvent udføre ved temperaturer op til 2300 grader Celsius i længere perioder. Nedenfor er nogle eksempler på vores prøver:
