Tredje generation af halvledermaterialer omfatter hovedsageligt SiC, GaN, diamant osv., fordi dens båndgab-bredde (f.eks.) er større end eller lig med 2,3 elektronvolt (eV), også kendt som bredbåndsgab-halvledermaterialer.Sammenlignet med første og anden generation af halvledermaterialer har tredje generations halvledermaterialer fordelene ved høj termisk ledningsevne, højt elektrisk nedbrydningsfelt, høj mættet elektronmigreringshastighed og høj bindingsenergi, som kan opfylde de nye krav fra moderne elektronisk teknologi til høj temperatur, høj effekt, højt tryk, høj frekvens og strålingsmodstand og andre barske forhold.Det har vigtige anvendelsesmuligheder inden for områderne nationalt forsvar, luftfart, rumfart, olieefterforskning, optisk lagring osv., og kan reducere energitab med mere end 50% i mange strategiske industrier såsom bredbåndskommunikation, solenergi, bilproduktion, halvlederbelysning og smart grid, og kan reducere udstyrsvolumen med mere end 75%, hvilket er af milepælsbetydning for udviklingen af human videnskab og teknologi.
| Vare 项目 | GaN-FS-CU-C50 | GaN-FS-CN-C50 | GaN-FS-C-SI-C50 |
| Diameter | 50,8 ± 1 mm | ||
| Tykkelse厚度 | 350 ± 25 μm | ||
| Orientering | C-plan (0001) off vinkel mod M-aksen 0,35 ± 0,15° | ||
| Prime Flat | (1-100) 0 ± 0,5°, 16 ± 1 mm | ||
| Sekundær lejlighed | (11-20) 0 ± 3°, 8 ± 1 mm | ||
| Ledningsevne | N-type | N-type | Halvisolerende |
| Resistivitet (300K) | < 0,1 Ω·cm | < 0,05 Ω·cm | > 106 Ω·cm |
| TTV | ≤ 15 μm | ||
| SLØJFE | ≤ 20 μm | ||
| Ga Ansigtsoverfladeruhed | < 0,2 nm (poleret); | ||
| eller < 0,3 nm (poleret og overfladebehandling for epitaksi) | |||
| N Ansigtsoverfladeruhed | 0,5 ~ 1,5 μm | ||
| mulighed: 1~3 nm (fin jord);< 0,2 nm (poleret) | |||
| Dislokationstæthed | Fra 1 x 105 til 3 x 106 cm-2 (beregnet af CL)* | ||
| Makrodefektdensitet | < 2 cm-2 | ||
| Brugbart område | > 90 % (udelukkelse af kant- og makrofejl) | ||
| Kan tilpasses efter kundens krav, forskellig struktur af silicium, safir, SiC baseret GaN epitaksial plade. | |||
