Silicium termisk oxid wafer

Silicon Thermal Oxide Wafer Udvalgt billede

Kort beskrivelse:

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. er en førende leverandør med speciale i wafer og avancerede halvlederforbrugsstoffer.Vi er dedikerede til at levere pålidelige og innovative produkter af høj kvalitet til halvlederfremstilling, solcelleindustrien og andre relaterede områder.

Vores produktlinje inkluderer SiC/TaC-belagte grafitprodukter og keramiske produkter, der omfatter forskellige materialer såsom siliciumcarbid, siliciumnitrid og aluminiumoxid og etc.

På nuværende tidspunkt er vi den eneste producent, der leverer renhed på 99,9999% SiC-belægning og 99,9% omkrystalliseret siliciumcarbid.Den maksimale SiC-belægningslængde kan vi lave 2640 mm.

Send e-mail til os

Produktdetaljer

Produkt Tags

Det termiske oxidlag af en siliciumwafer er et oxidlag eller silicalag dannet på den nøgne overflade af en siliciumwafer under høje temperaturforhold med et oxidationsmiddel.Det termiske oxidlag af siliciumwafer dyrkes normalt i en vandret rørovn, og væksttemperaturområdet er generelt 900 ° C ~ 1200 ° C, og der er to vækstformer for "våd oxidation" og "tør oxidation".Det termiske oxidlag er et "vokset" oxidlag, der har højere homogenitet og højere dielektrisk styrke end det CVD-aflejrede oxidlag.Det termiske oxidlag er et fremragende dielektrisk lag som isolator.I mange siliciumbaserede enheder spiller det termiske oxidlag en vigtig rolle som dopingblokerende lag og overfladedielektrikum.

Tips: Oxidationstype

1. Tør oxidation

Siliciumet reagerer med ilt, og oxidlaget bevæger sig mod basallaget.Tør oxidation skal udføres ved en temperatur på 850 til 1200 ° C, og væksthastigheden er lav, hvilket kan bruges til MOS isolation gate vækst.Når et ultratyndt siliciumoxidlag af høj kvalitet er påkrævet, foretrækkes tøroxidation frem for vådoxidation.

Tøroxidationskapacitet: 15nm ~ 300nm (150A ~ 3000A)

2. Våd oxidation

Denne metode bruger en blanding af brint og ilt med høj renhed til at brænde ved ~1000 ° C, hvorved der produceres vanddamp til dannelse af et oxidlag.Selvom våd oxidation ikke kan producere så høj kvalitet oxidationslag som tør oxidation, men nok til at blive brugt som en isolationszone, sammenlignet med tør oxidation har en klar fordel er, at den har en højere væksthastighed.

Vådoxidationskapacitet: 50nm~ 15µm (500A ~15µm)

3. Tør metode - våd metode - tør metode

Ved denne metode frigives rent tørt oxygen til oxidationsovnen i det indledende trin, brint tilsættes i midten af oxidationen, og brint lagres til sidst for at fortsætte oxidationen med rent tørt oxygen for at danne en tættere oxidationsstruktur end den almindelige våde oxidationsproces i form af vanddamp.

4. TEOS-oxidation

Oxidationsteknik 氧化工艺	Våd oxidation eller tør oxidation 湿法氧化/干法氧化
Diameter 硅片直径	2" / 3" / 4" / 6" / 8" / 12" 英寸
Oxid tykkelse 氧化层厚度	100 Å ~ 15 µm 10 nm ~ 15 µm
Tolerance 公差范围	+/- 5 %
Overflade 表面	Single Side Oxidation (SSO) / Dobbeltsidet Oxidation (DSO) 单面氧化/双面氧化
Ovn 氧化炉类型	Vandret rørovn 水平管式炉
Gas 气体类型	Brint og iltgas 氢氧混合气体
Temperatur 氧化温度	900 ℃ ~ 1200 ℃ 900 ~ 1200摄氏度
Brydningsindeks 折射率	1.456